KASHIYAMA MU100X/MU100XN 真空泵
项目/模型 | MU100X | MU100XN |
泵组成 | MU100X | MU100XN |
*1 最大泵速50/60Hz[L/min] | 1660 |
*1 极限压力[Pa] | 1.5 |
最大入口压力[Pa] | 大气压力 |
最大允许排气压力 | 3 or less |
Flange Dia. | 进 | NW50 |
出 | NW25 |
电机额定输出 | 2.2 |
加速时间 | 大约10 |
减速时间 | 大约5 |
冷却水 | 最大压力 | 0.5 MPa (Gauge Pressure) |
必要最小值 (入口-出口) | 0.2 MPa |
流量体积 | 1.5 to 3.0 L/min or 更多 |
温度 | 10至25摄氏度 |
Flange Dia | RC 3/8“(带耦合器) |
*2 氮 | 供应压力 | / | 0.1 |
规则压力 | / | 0.04 |
流量体积 | / | 5SLM[设置时] 0.05MPa(表压)] |
Flange Dia | / | Pipe fitting 1/4” |
电动力 | 进入动力 | 3PH *3 允许电压变化土 |
电容量 | 3.8千伏安 |
运行电流 | 2.0 to 10.8A |
控制 | 最大负载电流 | 1 A/ point |
连接器 | DB-25PF-N Japan Aviation Electronics Ind,Ltd. |
润滑油 | 类型 | Fluorine oil |
体积 [L] | 0.1 |
Approx. Weight [kg] | 60 |
*1) 在没有吹扫气体的情况下。
*2) 抽真空腐蚀性气体等时需要氮气。
该图为密封和稀释所需的总吹扫体积。
*3) 电压的最大允许波动,而不是正常电压的范围。